12月15日，在2021年中國半導體設備年會暨重慶半導體產業創新發展論壇（第九屆）上，中國電子專用設備工業協會常務副秘書長金存忠發表了題為《中國半導體設備回顧與展望》的演講。

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金存忠指出，2020年，特如其來的新冠肺炎疫情使中國半導體設備行業經歷了前所未有的挑戰，而在中國迅速戰勝了疫情，中國半導體設備行業在國內投資的集成電路生產企業量產后加速擴產和國家光伏發電政策的推動下，獲得了較快的發展機遇，呈現了繼續快速發展的態勢。

據中國電子專用設備工業協會統計，中國大陸56家主要半導體設備制造商在2020年完成半導體設備銷售收入242.90億元，同比增長38.7%；總利潤為51.92億元，同比增長80.5%。其中，集成電路設備總銷售收入為96.77億元，同比增長59.0%。

金存忠表示，2020年中國半導體設備銷售收入前10家單位完成銷售收入192.12億元，占56家半導體設備制造商銷售收入總額的79.1%。在前10家單位中，北方華創以43.91億元的銷售收入排在第一位，同比增長54.5%。

在2021年上半年的銷售收入排名前10的半導體設備公司中，北方華創仍然以27.35億元排在首位。另外，華峰測控也以3.24億元的銷售收入躋身前10榜單。

金存忠表示，國產設備不僅銷售額和利潤正在快速增長，在創新層面也不斷有新的產品進入產業化階段，例如北方華創的12英寸電感道等離子體干法金屬刻蝕機、盛美股份的3D硅通孔電鍍設備、中微股份的深紫外LED MOCVD設備等。

不過，金存忠也指出，國產設備在全球范圍內市場占有率仍然較低，且在國內的市占率提升緩慢。2020年中國半導體設備（56家）在全球市場占有率僅為5.2%，在中國大陸市場占有率也只有17.3%，與2019年基本相同。

另外，國產設備在集成電路關鍵領域仍需依賴進口。金存忠表示，雖然已經有國產光刻機研制成功，但相關產品目前尚未進入集成電路晶圓量產生產線。而在已經進入晶圓量產生產線的國產設備中，晶圓制造量測設備、化學氣相沉積設備、離子注入機、引線鍵合設備、探針測試臺與國際同類設備都還有較大差距，市場占有率較低。（校對/落日）